Немецкая компания Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology (Zeiss SMT) ввела в эксплуатацию первое новое производственное здание на площадке в немецком Оберкохене, строительство которой началось в 2022 году. Расширение предприятия важно для ASML, поскольку именно мощности Zeiss по выпуску оптики ограничивают объёмы выпуска EUV-сканеров.
Источник изображения: ASML
В годовом отчёте ASML за 2025 год специализированное подразделение Carl Zeiss SMT названо эксклюзивным поставщиком линз, зеркал, осветительных систем, коллекторов и других критически важных оптических компонентов для EUV-сканеров. Компания также предупреждает, что длительная остановка производства у Zeiss фактически сделает невозможным выпуск её литографических систем. На этом фоне закупки у Zeiss SMT и её дочерних предприятий продолжают расти — с 3,33 млрд евро в 2023 году до 3,95 млрд евро в 2024 и 4,41 млрд евро в 2025 году, сообщает Tom's Hardware.
Необходимость расширения производства объясняется и планами самой ASML, финансовый директор которой — Роджер Дассен (Roger Dassen) — ранее сообщал, что портфель заказов на Low-NA EUV-системы с поставкой в 2027 году уже практически заполнен. При этом производитель намерен увеличить выпуск примерно на 30 % по сравнению с ожидаемыми 65 установками в текущем году, одновременно сократив цикл сборки каждого сканера примерно с 22 до 15–16 недель. Также рассматривается возможность расширения производственных мощностей и в 2028 году.
Отмечается, что расширение площадей Zeiss не означает мгновенного роста выпуска оптики, так как производство компонентов для High-NA EUV остаётся сложным процессом: одна проекционная система состоит более чем из 40 тысяч деталей и весит около 12 тонн, а система освещения включает ещё около 25 тысяч компонентов. Отдельные зеркала изготавливаются в течение нескольких месяцев, после чего проходят проверку в специальной вакуумной камере размером 5 × 10 метров, состоящей более чем из 100 тысяч деталей при весе свыше 150 тонн.
Стратегическое значение Zeiss подтверждается и масштабом финансовой поддержки со стороны ASML. По итогам 2025 года объём выданных Zeiss SMT займов достиг 1,91 млрд евро, а авансовые платежи за будущие поставки оптических колонн составили ещё 1,19 млрд евро. Одновременно Zeiss SMT продолжает расширять собственную производственную инфраструктуру и по итогам финансового года, завершившегося 30 сентября 2025 года, выручка подразделения выросла на 23 % (до 5,055 млрд евро). Помимо развития площадки в Оберкохене, компания строит новый завод в Вецларе, расширяет чистые помещения в Росдорфе и открыла инновационный центр в Южной Корее.